Armancên sputteringê yên guleyên tîtanyûmê yên pola 99.8% ya Paqij a Bilind, armanca alloy TI ji bo dabînkerê kargeha pêçandinê
Parametreyên berhemê
| Navê berhemê | Armanca tîtanyûmê ji bo makîneya pêçandina pvd |
| Sinif | Tîtanyûm (Gr1, Gr2, Gr5, Gr7, GR12)Armanca alloy: Ti-Al, Ti-Cr, Ti-Zr hwd |
| Reh | Bajarê Baoji, parêzgeha Shaanxi ya Çînê |
| Naveroka tîtanyûmê | ≥99.5 (%) |
| Naveroka nepakiyê | <0.02 (%) |
| Tîrbûn | 4.51 an 4.50 g/cm3 |
| Rêzan | ASTM B381; ASTM F67, ASTM F136 |
| Mezinayî | 1. Armanca gilover: Ø30--2000mm, qalindahî 3.0mm--300mm;2. Targe Plate: Dirêjahî: 200-500mm Firehî: 100-230mm Stûrî: 3--40mm;3. Armanca lûleyê: Dia: 30-200mm Stûrî: 5-20mm Dirêjahî: 500-2000mm;4. Xweserkirî heye |
| Teknîk | Sextekirî û Makînekirî bi CNC |
| Bikaranînî | Veqetandina nîvconductor, Materyalên pêçandina fîlmê, Pêçandina elektroda depokirinê, Pêçandina sputteringê, Pêçandina rû, Pîşesaziya pêçandina cam. |
Pêdiviyên kîmyewî yên hedefa tîtanyûmê
| ASTM B265 | GB/T 3620.1 | JIS H4600 | Naveroka hêmanî (≤wt%) | ||||||
| N | C | H | Fe | O | Yên din | ||||
| Tîtanyûm Paqij | Gr.1 | TA1 | Pola 1 | 0.03 | 0.08 | 0.015 | 0.20 | 0.18 | / |
| Gr.2 | TA2 | Pola 2 | 0.03 | 0.08 | 0.015 | 0.30 | 0.25 | / | |
| TîtanyûmAstarê madenî | Gr.5 | TC4Ti-6Al-4V | Pola 60 | 0.05 | 0.08 | 0.015 | 0.40 | 0.2 | Al: 5.5-6.75 V: 3.5-4.5 |
| Gr.7 | TA9 | Pola 12 | 0.03 | 0.08 | 0.015 | 0.30 | 0.25 | Pd: 0.12-0.25 | |
| Gr.12 | TA10 | Pola 60E | 0.03 | 0.08 | 0.015 | 0.30 | 0.25 | Mo: 0.2-0.4 Ni: 0.6-0.9 | |
Taybetmendiyên mekanîkî yên dirêjahî li germahiya odeyê
| Sinif | Hêza kişandinêRm/MPa(>=) | Hêza berdêlêRp0.2 (MPa) | DirêjkirinA4D(%) | Kêmkirina qadêZ(%) |
| Gr1 | 240 | 140 | 24 | 30 |
| Gr2 | 400 | 275 | 20 | 30 |
| Gr5 | 895 | 825 | 10 | 25 |
| Gr7 | 370 | 250 | 20 | 25 |
| Gr12 | 485 | 345 | 18 | 25 |
Armancên Sputterkirina Tîtanyûmê
Mezinahiya hevpar a hedefa sputterê ya tîtanyûmê: Φ100*40, Φ98*40, Φ95*45, Φ90*40, Φ85*35, Φ65*40 hwd.
Her weha dikare li gorî daxwazên xerîdar an nexşeyan xweş bike
Pêdiviyên armanc: paqijiya bilind, danên krîstal ên yekreng, û kompaktbûnek baş.
Paqijî: %99.5, %99.95, %99.98, %99.995.
Pêvajoya Hilberîna Armanca Tîtanyûmê
sifinca tîtanî --- ji bo çîpeke tîtanîûmê hatiye helandin --- ceribandin---birîna çîpê --- çêkirina --- gerandin --- qelpkirin --- rastkirin---tespîtkirina kêmasiyên bi ultrasonê --- pakkirin
Taybetmendiyên hedefa tîtanyûmê
1. Hêza Densiteya Kêm û Hêza Taybetmendiya Bilind
2. Berxwedana Korozyonê ya Hêja
3. Berxwedana baş li hember bandora germê
4. Taybetmendiya Hilgirtina Hêja ji bo Kryojenîkê
5. Nemanyetîk û nejehrîn
6. Taybetmendiyên Germahî yên Baş
7. Modula Kêm a Elastîkbûnê







