Tantalum Target
Parametreyên hilberê
Navê Hilbera: Paqijiya High Tantalum Armanca Tantalumê ya Pure | |
Mal | Tantalum |
Qiralîtî | 99,95% min an 99.99% min |
Reng | Kevirek zirav, silaval ku bi korbûnê re pir berxwedêr e. |
Navê din | Target Ta |
Rêzan | Astm B 708 |
Mezinayî | Dia> 10 mm * zirav> 0,1mm |
Cins | Planar |
Qet | 5 don |
Dema radestkirinê | 7days |
Bikaranîn | Makîneyên Coating Sputtering |
Table 1: Berhevoka kîmyewî
Kîmya (%) | |||||||||||||
Zirarikîn | Pêkhateya sereke | Nepoxên maxmium | |||||||||||
Ta | Nb | Fe | Si | Ni | W | Mo | Ti | Nb | O | C | H | N | |
Ta1 | Mayî | 0.004 | 0.003 | 0.002 | 0.004 | 0.006 | 0.002 | 0.03 | 0.015 | 0.004 | 0.0015 | 0.002 | |
Ta2 | Mayî | 0.01 | 0.01 | 0.005 | 0.02 | 0.02 | 0.005 | 0.08 | 0.02 | 0.01 | 0.0015 | 0.01 |
Table 2: Pêdiviyên Mekanî (şertê annealed)
Sinif û mezinahî | Annealed | ||
Hêza Tensilemin, psi (mpa) | Hêza MIN, PSI (MPa) (2%) | Min, %% (1 inch dirêjahiya gage) | |
Çarşef, felq. û Destpêk (RO5200, RO5400) Thickness <0.060 "(1.524MM)Thickness≥0.060 "(1.524mm) | 30000 (207) | 20000 (138) | 20 |
25000 (172) | 15000 (103) | 30 | |
Ta-10W (RO5255)Çarşef, felq. û panel | 70000 (482) | 60000 (414) | 15 |
70000 (482) | 55000 (379) | 20 | |
Ta-2.5W (RO5252)Pîvana <0.125 "(3.175mm)Pictness≥0.125 "(3.175mm) | 40000 (276) | 30000 (207) | 20 |
40000 (276) | 22000 (152) | 25 | |
TA-40NB (RO5240)Pîvness <0.060 "(1.524MM) | 40000 (276) | 20000 (138) | 25 |
Pîvandin> 0.060 "(1.524MM) | 35000 (241) | 15000 (103) | 25 |
Mezinahî û paqijbûn
Diameter: DIA (50 ~ 400) MM
Qelew: (3 ~ 28mm)
Grade: RO5200, RO 5400, RO5252 (TA-2.5W), RO5255 (TA-10W)
Paqij:> = 99.95%,> = 99.99%
Feydeya me
Recrystallization: 95% kêmtirîn genim Mezinahî: Kêmtirîn 40 zmm bêhêzî: RA 0.4 max flatness: 0.1mm an 0.10% max. Tolerance: Diameter tolerans +/- 0.254
Bikaranînî
Tantalek Tantalum, wekî materyalek elektrodê û materyalê elektrod, bi berfirehî di pîşesaziya koçberiyê de tê bikar anîn